5-teljelised freesitud keraamilised isolaatorid pooljuhtseadmetele ja puhasruumidele

Pooljuhtide tootmise ja puhasruumide kõrgete panustega maailmas peab iga komponent pakkuma laitmatut jõudlust. KellPFT, me spetsialiseerume käsitööle5-teljelised freesitud keraamilised isolaatoridmis annavad täpsuse ja usaldusväärsuse uue tähenduse. Üle 20+ tootegaMeie aastatepikkuse kogemuse põhjal on meie lahendused loodud vastama pooljuhtseadmete rangetele nõudmistele, tagades termilise stabiilsuse, elektriisolatsiooni ja saastevaba töö ülitundlikes keskkondades.

Miks valida meie 5-teljelised freesitud keraamilised isolaatorid?

1.Täiustatud tootmisvõimalused

Meie rajatis on varustatudtipptasemel 5-teljelised CNC-freespingid, mis võimaldab mikronitasemel täpsust täiustatud keraamika, näiteks alumiiniumoksiidi (Al₂O₃), ränikarbiidi (SiC) ja alumiiniumnitriidi (AlN), vormimisel. Erinevalt tavapärastest meetoditest võimaldab 5-teljeline töötlemine keerukaid geomeetriaid – see on kriitilise tähtsusega selliste komponentide jaoks nagu kiibi tõstetihvtid, sadestuskambri osad ja plasmakindlad isolaatorid.

Peamised omadused:

•Täpsus:±0,005 mm tolerants sujuvaks integreerimiseks ASML-litograafiatööriistadesse või Lam Researchi söövitussüsteemidesse.
•Materjali mitmekülgsus:Optimeeritud 99,8% alumiiniumoksiidi, kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) ja muu täiustatud keraamika jaoks.
•Pinna viimistlus:Ra <0,2 μm, et minimeerida tahkete osakeste teket ISO 1. klassi puhasruumides.

2.Patenteeritud protsessitehnika

Meie insenerid on välja töötanudsuletud ahela protsesside juhtimisemis kohanduvad keraamika haprusega töötlemise ajal. Kuivfreesimise tehnikate kombineerimisel reaalajas vibratsioonisummutusega saavutame pragudeta pinnad ja pikema komponentide eluea – isegi äärmuslike termiliste tsüklite korral (kuni 1600 °C).

Innovatsiooni tähelepanu keskpunktis:

•Stressi leevendamise protokollid:Minimeerige AlN-isolaatorite mikropraod CVD-rakenduste jaoks.
•Mehaanilise töötlemise järgsed töötlused:HIP (kuum isostaatiline pressimine) suurendab tihedust ja korrosioonikindlust.

3.Range kvaliteedikontroll

Iga isolaator läbib12-astmeline kontroll, sealhulgas:

•CMM (koordinaatmõõteseade)kriitiliste mõõtmete valideerimine.
•Heeliumi lekke testiminevaakumi ühilduvuse tagamiseks.
•EDS (energiadispersiivne röntgenspektroskoopia)materjali puhtuse kontrollimiseks.

MeieISO 9001/14001 sertifitseeritud süsteemtagab jälgitavuse alates tooraine hankimisest (mis pärineb esimese taseme tarnijatelt, näiteks CoorsTekilt) kuni lõpppakendini.

Rakendused: kus täpsus kohtub jõudlusega

Meie isolaatoritele antakse usaldus:

•Söövitus- ja sadestamisvahendid:Applied Materials™ moodulite plasmakindluse tagamiseks mõeldud ränikarbiidiga kaetud komponendid.
•Ioonplantaatorid:Alumiiniumoksiidist tõstetihvtid antistaatiliste katetega, et vältida vahvlite libisemist.
•Metroloogiasüsteemid:EUV litograafiaastmete jaoks mõeldud madala soojuspaisumisega isolaatorid.

Juhtumiuuring:Juhtiv pooljuhtide originaalvaruosade tootja vähendas tööriistade seisakuid 40% võrra pärast meie eritellimusel valmistatud SiC-dušipeadele üleminekut, mis edestasid konkurentide osi 300 mm kiipide töötlemisel.

Tootmisest kaugemale: partnerluse lähenemisviis

•Kiire prototüüpimine:Esitage oma CAD-failid ja saate funktsionaalsed prototüübid 7 päeva jooksul.
•Kohapealne puhasruumi pakend:Valikuline 10. klassi puhasruumi komplekt tööriistade otseseks integreerimiseks.
•Eluaegne tehniline tugi:Meie insenerid pakuvad kulumisanalüüsi ja järeltöötlusteenuseid komponentide elutsükli pikendamiseks.